Измеритель КИТ

Кварцевый измеритель толщины пленки КИТ это электронный прибор для управления процессом напыления (осаждения) плёночных структур и измерения их толщины во время их образования в вакууме.

Назначение

Измеритель толщины пленки КИТ предназначен для измерения толщины плёнки, которая напыляется в вакуумной установке. Применяется как автономный прибор, так и в составе АСУ. Основное применение прибор нашёл на предприятиях электронной промышленности, при изготовлении различного рода датчиков, полупроводниковых приборов и других электронных компонентов, применяется при изготовлении магнитных дисков винчестеров для компьютерной техники.

Конструкция

Прибор собран в прямоугольном металлическом корпусе, на передней панели которого размещён жидкокристаллический цифровой индикатор, клавиатура управления и клавиша включения.

КИТ – это программируемый прибор, благодаря которому выполняется

• управление испарителями напыляемого материала,
• контроль процесса напыления,
• выключение испарителя при достижении уровня требуемого размера толщины полученной плёнки с формированием управляющего сигнала по окончании процесса.

Прибор обычно имеет настройку на работу с 10 материалами, для формирования 3-х плёнок, состоящих из нескольких слоёв (до 10). КИТ способен работать с разными типами испарителей. При работе прибора в автономном режиме (не в составе автоматизированной системы) КИТ выполняет программу, записанную в его память оператором. Весь процесс фиксируется на жидкокристаллическом индикаторе. Управление КИТ возможно с местной клавиатуры либо через интерфейс с помощью ПК.

В основу работы прибора по измерению толщины, напыляемой плёнки положен принцип измерения частоты кварцевого резонатора, помещённого в зону напыления рядом с изготавливаемыми изделиями. В процессе образования плёнок меняется масса кристалла кварца и соответственно его резонансная частота, по измерению которой и вычисляется толщина осаждаемых в вакууме плёнок. Для получения плёнок требуемой толщины с высокой точностью, применяется охлаждение кварцевого датчика.